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产品标题:FD-9BL雙面研磨機(带修面)

产品分类: 雙面研磨機系列
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9B雙面研磨機_看图王

高精密可修面雙面研磨機

主要用途:

该雙面研磨機主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度研磨、抛光。

工作原理:

2.本系列研磨機为超高精密研磨设备,上、下研磨盘作相反方向转动,工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件,而且两面均匀磨削生产效率高。

2.本系列研磨機修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动,金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。

特 点

1. 本系列研磨機的上、下研磨盘可进行自动修盘。

2. 采用四个电机同步拖动,变速范围更广,运动精度更高,响应速度更快,能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求,实现了软启动、软停止,调速稳定,冲击小。

3. 修面机采用伺服马达驱动,能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳,得到的平面修整效果非好。

4. 控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等先进技术,系统的响应速度更快、更精确,并具有远程监控,远程维护功能;

5. 本系列研磨機有光栅厚度控制系统,加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内。

技術參數:

型 號

FD--9B

研磨盤規格:

φ635×φ240×12t

最大加工工件尺寸

φ200mm

工件平面度(25mm)

±0.2u以內

工件平行度(25mm)

±0.4u以內

工件粗糙度(石英材料)

0.4nm以內

研磨盤修面後平行度

±2u以內

遊輪規格

φ230mm

遊輪數量

5 枚

下研磨盤轉速

0~140rpm

下研磨盤電機功率

2.2kw 3相380V

上研磨盤研磨轉速

0~60rpm

上研磨盤電機功率

1.5kw 3相380V

上研磨盤修面轉速

0~140rpm

上研磨盤修面電機功率

0.75kw 3相380V

太陽輪轉速

0~60rpm

太陽輪電機功率

0.75kw 3相380V

外齒輪轉速

0~30rpm

外齒輪電機功率

0.75kw 3相380V

修面機速度

200mm/分鍾

修面機伺服馬達功率

750w

外形尺寸:

1200×1650×2400mm

重量:

2300kg






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